カーボンナノチューブの電気電子材料応用

カーボンナノチューブをはじめとするナノカーボン材料は，エレクトロニクス，エネルギー，環境，医療など様々な分野での潜在的応用可能性を秘めています。特にエレクトロニクス分野では，ポストシリコン時代を支える材料として，またフレキシブルエレクトロニクス用材料としての利用が期待されています。

カーボンナノチューブを任意の形態に，たとえば糸状に集積化させることができれば，その利用可能性は一段と高まります。われわれは気体放電を利用した，新規カーボンナノチューブ集積化法を開発，これを利用した新規カーボンナノチューブ紡績法を研究しています。また，カーボンナノチューブの空洞内に高効率に鉄ナノワイヤーが内包され，優れた磁気特性を有する鉄内包カーボンナノチューブの合成に成功しています。

カーボンナノチューブを容易に紡績可能とすることで，機械的・電気的特性に優れたケーブルや紡織布が作製可能となり，様々な応用に供することが可能です。また鉄内包カーボンナノチューブも強磁性材料として様々な分野への利用が可能です。カーボンナノチューブの電気電子材料としての応用展開を目指すべく研究を推進しています。さらに，自然由来のナノ材料であるセルロースナノファイバの電子材料応用にも取り組んでいます。

• Hiro Hayama, Hideki Sato, Japanese Journal of Applied Physics 62, SA1010(2022)
• Hideki Sato, Masatoshi Hiromura, Vacuum, 198, 100877(2021)
• Hideki Sato, Yuki Mizushima, Yusuke Komatsu, Applied Physics Letters, 110, 03310 (2017)

鉄内包カーボンナノチューブの電子顕微鏡写真

カーボンナノチューブで作製した「糸」（スケールバー：5.0 mm）

北海道出身。アネルバ株式会社（現　キヤノンアネルバ株式会社）半導体プロセス（配線工程）用成膜プロセス開発及び装置開発に従事。2000年より三重大学助手。2007〜2022年准教授。2023年より教授。2002〜2003年 米国ノースカロライナ大学チャペルヒル校客員研究員。

2016〜2018年 応用物理学会　代議員
2022年〜　　 日本表面真空学会東海支部　副支部長

1996〜2000年 アネルバ株式会社（現 キヤノンアネルバ株式会社）　半導体装置事業部　
2019年〜　 　鈴鹿工業高等専門学校　非常勤講師
2018年〜　 　津市防火協会・四日市市消防本部 危険物取扱者試験予備講習会 講師

• 自然科学（化学・生物・数学など）への課題